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中微半導體:將建立臨港半導體設備和材料產業基地

2019-12-09 19:08   4次瀏覽

12月8日,首屆“臨港新片區投資論壇”在上海舉行。

國內半導體設備龍頭中微半導體設備(上海)股份有限公司董事長兼首席執行官尹志堯表示,將建立一個臨港半導體設備和材料產業基地,其中有研發中心、大規模生產基地、銷售和結算中心、產品投資平臺,集成電路工業互聯網平臺。

尹志堯指出,臨港新片區承載國家戰略使命,立足“卡脖子”和新興產業關鍵技術環節的創新發展,對集成電路產業政策支持力度非常大,這里將成為世界級先進集成電路產業高地。

作為科創板首批上市企業,中微半導體成立于2004年5月,是我國集成電路設備行業的領先企業,主要從事高端半導體設備的研發、生產和銷售。自成立以來,其主要業務是開發加工微觀器件的大型真空工藝設備。

目前,其開發的產品以集成電路前道生產的等離子體刻蝕設備、薄膜沉積設備等關鍵設備為主,并已逐步開發應用于后道先進封裝、MEMS、Mini LED、Micro LED等領域的泛半導體設備產品。

中微半導體刻蝕設備的重要代表客戶包括臺積電、中芯國際、聯華電子、華力微電子、海力士、華邦電子、晶方科技、格芯、博世、意法半導體等國內外知名集成電路企業,MOCVD設備也已被三安光電、華燦光電、乾照光電、璨揚光電等多家一流LED外延片及芯片制造廠商大批量采購。

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